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雙面砂帶拋光機(jī) 
 產(chǎn)品屬性 
 產(chǎn)品優(yōu)勢(shì) 內(nèi)外緣形成不同的相對(duì)拋光速度會(huì)引起拋光盤的傘狀變形,圖1為加工過(guò)程中行星輪轉(zhuǎn)向與表面變形的關(guān) 系。如果行星輪轉(zhuǎn)向與拋光盤相同(順向模式),晶片上表面與上拋光盤外緣相對(duì)較低,而與下拋光盤的相對(duì)速 度較大,因此上拋光墊表面材料去除較少,下拋光墊表而材料去除較多,形成中心凸起的“順向模式”的表面 磨損變形,相反則形成“逆向模式”的表面磨損變形。  
	詳細(xì)信息  內(nèi)外緣形成不同的相對(duì)拋光速度會(huì)引起拋光盤的傘狀變形,圖1為加工過(guò)程中行星輪轉(zhuǎn)向與表面變形的關(guān) 系。如果行星輪轉(zhuǎn)向與拋光盤相同(順向模式),晶片上表面與上拋光盤外緣相對(duì)較低,而與下拋光盤的相對(duì)速 度較大,因此上拋光墊表面材料去除較少,下拋光墊表而材料去除較多,形成中心凸起的“順向模式”的表面 磨損變形,相反則形成“逆向模式”的表面磨損變形。 
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