測(cè)試精度:0.01 um
多次測(cè)量重復(fù)性誤差<0.1%
元素分析范圍從鋁(Al)到鈾(U)
測(cè)量時(shí)間:10-60秒
Si-PIN探測(cè)器,能量分辨率為149電子伏特
微焦X射線管50KV/1mA,鎢靶,
焦斑尺寸 75um, 壽命大于3萬(wàn)小時(shí)
7個(gè)準(zhǔn)直器及6個(gè)濾光片自動(dòng)切換
XYZ三維移動(dòng)平臺(tái),大荷載為5公斤
高清CCD攝像頭,精確監(jiān)控位置
多變量非線性去卷積曲線擬合
高性能FP/MLSQ分析
平臺(tái)尺寸 700x580x25 mm
平臺(tái)移動(dòng)范圍 300(X)x300(Y)x25 (Z)mm




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